| Device | Status | Flash (Bytes) | SRAM (Bytes) | AES Engine (Bits) | LCD Controller | Ethernet MAC 10/100 | Image Sensor Interface | USB Host | External Bus Interface | CAN | RTC/RTT | 10-bit ADC Channels | 10-bit DAC Channel | Peripheral DMA Channels | Max. Clock Speed (MHz) | I/O Pins | SDRAM Interface | NAND Flash ECC | Triple DES Engine | Enhanced USART | USART/DBGU | SPI | TWI | SSC | MCI | USB Device | PWM Controller | High Current Pads | 16-bit Timers | Period Interval Timer | Watchdog Timer | Power-On-Reset | Brown Out Detection | On-chip RC Oscillator | Crystal Oscillator/PLL | ARM Core | Cache Memory (Bytes) | MMU/MPU | I/O Voltage Domain (V) | In-System Programming | Single Supply | Packages | Green Packages |
| AT91FR40162S | Production | 2M | 256K | -- | -- | -- | -- | -- | 1 | -- | -- | -- | -- | 4 | 75 | 32 | -- | -- | -- | -- | 2/- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | 3 | -- | 1 | -- | -- | -- | -- | 7TDMI | -- | -- | 3.3 | -- | N | TFBGA 121 | TFBGA 121 |
| AT91FR40162SB | Development | 2M | 256K | -- | -- | -- | -- | -- | 1 | -- | -- | -- | -- | 4 | 75 | 32 | -- | -- | -- | -- | 2/- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | 3 | -- | 1 | -- | -- | -- | -- | 7TDMI | -- | -- | 3.3 | -- | N | TFBGA 121 | TFBGA 121 |
| AT91M40800 | Production | -- | 8K | -- | -- | -- | -- | -- | 1 | -- | -- | -- | -- | 4 | 40 | 32 | -- | -- | -- | -- | 2/- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | 3 | -- | 1 | -- | -- | -- | -- | 7TDMI | -- | -- | 1.8/3.3 | -- | Y | LQFP 100 | LQFP 100 |
| AT91M42800A | Production | -- | 8K | -- | -- | -- | -- | -- | 1 | -- | -/1 | -- | -- | 8 | 33 | 54 | -- | -- | -- | -- | 2/- | 2 | -- | -- | -- | -- | -- | -- | 6 | 1 | 1 | -- | -- | -- | 37258 | 7TDMI | -- | -- | 3.3/5.0 | -- | Y | LBGA 144 | LBGA 144LQFP 144 |
| AT91M55800A | Production | -- | 8K | -- | -- | -- | -- | -- | 1 | -- | 1/- | 8 | 2 | 10 | 33 | 58 | -- | -- | -- | -- | 3/- | 1 | -- | -- | -- | -- | -- | -- | 6 | -- | 1 | -- | -- | -- | 37288 | 7TDMI | -- | -- | 3.3/5.0 | -- | Y | LFBGA 176 | LFBGA 176LQFP 176 |
| AT91R40008 | Production | -- | 256K | -- | -- | -- | -- | -- | 1 | -- | -- | -- | -- | 4 | 75 | 32 | -- | -- | -- | -- | 2/- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | 3 | -- | 1 | -- | -- | -- | -- | 7TDMI | -- | -- | 3.3 | -- | N | LQFP 100 | LQFP 100 |
| AT91RM9200 | Production | -- | 16K | -- | -- | 1 | -- | 2xFS | 1 | -- | 37257 | -- | -- | 20 | 180 | 122 | 1 | -- | -- | 4 | -/1 | 1 | 1 | 3 | 1 | FS | -- | -- | 6 | 1 | 1 | -- | -- | -- | 37289 | 920T | 2x16K | MMU | 3.3 | Y | N | LFBGA 256 | LFBGA 256PQFP 208 |
| AT91SAM7A3 | Production | 256K | 32K | -- | -- | -- | -- | -- | -- | 2 | -/1 | 16 | -- | 19 | 60 | 62 | -- | -- | -- | 3 | -/1 | 2 | 1 | 2 | 1 | FS | 8 | -- | 9 | 1 | 1 | 1 | -- | 1 | 37257 | 7TDMI | -- | MPU | 3.3 | -- | Y | LQFP 100 | LQFP 100 |
| AT91SAM7L128 | Sampling | 128K | 6K | -- | 1 | -- | -- | -- | -- | -- | 1/- | 4 | -- | 11 | 36 | 80 | -- | -- | -- | 1 | 1/- | 1 | 1 | -- | -- | -- | 4 | 4 | 4 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 37257 | 7TDMI | -- | -- | 2.5/3.3V | Y | Y | LQFP 128 | LQFP 128LFBGA 144 |
| AT91SAM7L64 | Sampling | 64K | 6K | -- | 1 | -- | -- | -- | -- | -- | 1/- | 4 | -- | 11 | 36 | 80 | -- | -- | -- | 2 | -/1 | 1 | 1 | -- | -- | -- | 4 | 4 | 4 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 37257 | 7TDMI | -- | -- | 2.5/3.3V | Y | Y | LQFP 128 | LQFP 128LFBGA 144 |
| AT91SAM7S128 | Production | 128K | 32K | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -/1 | 8 | -- | 11 | 55 | 32 | -- | -- | -- | 2 | -/1 | 1 | 1 | 1 | -- | FS | 4 | 4 | 3 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 37257 | 7TDMI | -- | -- | 3.3 | Y | Y | LQFP 64 | LQFP 64QFN 64 |
| AT91SAM7S16 | Production | 16K | 4K | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -/1 | 8 | -- | 9 | 55 | 21 | -- | -- | -- | 1 | -/1 | 1 | 1 | 1 | -- | -- | 4 | 4 | 3 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 37257 | 7TDMI | -- | -- | 3.3 | Y | Y | LQFP 48 | LQFP 48QFN 48 |
| AT91SAM7S161 | Production | 16K | 4K | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -/1 | 8 | -- | 11 | 55 | 32 | -- | -- | -- | 2 | -/1 | 1 | 1 | -- | -- | FS | 4 | 4 | 3 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 37257 | 7TDMI | -- | -- | 3.3 | Y | Y | LQFP 64 | LQFP 64 |
| AT91SAM7S256 | Production | 256K | 64K | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -/1 | 8 | -- | 11 | 55 | 32 | -- | -- | -- | 2 | -/1 | 1 | 1 | 1 | -- | FS | 4 | 4 | 3 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 37257 | 7TDMI | -- | -- | 3.3 | Y | Y | LQFP 64 | LQFP 64QFN 64 |
| AT91SAM7S32 | Production | 32K | 8K | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -/1 | 8 | -- | 9 | 55 | 21 | -- | -- | -- | 1 | -/1 | 1 | 1 | 1 | -- | -- | 4 | 4 | 3 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 37257 | 7TDMI | -- | -- | 3.3 | Y | Y | LQFP 48 | LQFP 48QFN 48 |
| AT91SAM7S321 | Production | 32K | 8K | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -/1 | 8 | -- | 11 | 55 | 32 | -- | -- | -- | 2 | -/1 | 1 | 1 | 1 | -- | FS | 4 | 4 | 3 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 37257 | 7TDMI | -- | -- | 3.3 | Y | Y | LQFP 64 | LQFP 64QFN 64 |
| AT91SAM7S512 | Sampling | 512K | 64K | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -/1 | 8 | -- | 11 | 55 | 32 | -- | -- | -- | 2 | -/1 | 1 | 1 | 1 | -- | FS | 4 | 4 | 3 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 37257 | 7TDMI | -- | -- | 3.3 | Y | Y | LQFP 64 | LQFP 64QFN 64 |
| AT91SAM7S64 | Production | 64K | 16K | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -/1 | 8 | -- | 11 | 55 | 32 | -- | -- | -- | 2 | -/1 | 1 | 1 | 1 | -- | FS | 4 | 4 | 3 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 37257 | 7TDMI | -- | -- | 3.3 | Y | Y | LQFP 64 | LQFP 64QFN 64 |
| AT91SAM7SE256 | Production | 256K | 32K | -- | -- | -- | -- | -- | 1 | -- | -/1 | 8 | -- | 11 | 48 | 88 | 1 | 37257 | -- | 2 | -/1 | 1 | 1 | 1 | -- | FS | 4 | 4 | 3 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 37257 | 7TDMI | -- | MPU | 3.3 | Y | Y | LQFP 128 | LQFP 128LFBGA 144 |
| AT91SAM7SE32 | Production | 32K | 8K | -- | -- | -- | -- | -- | 1 | -- | -/1 | 8 | -- | 11 | 48 | 88 | 1 | 37257 | -- | 2 | -/1 | 1 | 1 | 1 | -- | FS | 4 | 4 | 3 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 37257 | 7TDMI | -- | MPU | 3.3 | Y | Y | LQFP 128 | LQFP 128LFBGA 144 |
| AT91SAM7SE512 | Production | 512K | 32K | -- | -- | -- | -- | -- | 1 | -- | -/1 | 8 | -- | 11 | 48 | 88 | 1 | 37257 | -- | 2 | -/1 | 1 | 1 | 1 | -- | FS | 4 | 4 | 3 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 37257 | 7TDMI | -- | MPU | 3.3 | Y | Y | LQFP 128 | LQFP 128LFBGA 144 |
| AT91SAM7X128 | Production | 128K | 32K | -- | -- | 1 | -- | -- | -- | 1 | -/1 | 8 | -- | 11 | 55 | 62 | -- | -- | -- | 2 | -/1 | 2 | 1 | 1 | -- | FS | 4 | 4 | 3 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 37257 | 7TDMI | -- | -- | 3.3 | Y | Y | LQFP 100 | LQFP 100TFBGA 100 |
| AT91SAM7X256 | Production | 256K | 64K | -- | -- | 1 | -- | -- | -- | 1 | -/1 | 8 | -- | 11 | 55 | 62 | -- | -- | -- | 2 | -/1 | 2 | 1 | 1 | -- | FS | 4 | 4 | 3 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 37257 | 7TDMI | -- | -- | 3.3 | Y | y | LQFP 100 | LQFP 100TFBGA 100 |
| AT91SAM7X512 | Sampling | 512K | 128K | -- | -- | 1 | -- | -- | -- | 1 | -/1 | 8 | -- | 11 | 55 | 62 | -- | -- | -- | 2 | -/1 | 2 | 1 | 1 | -- | FS | 4 | 4 | 3 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 37257 | 7TDMI | -- | -- | 3.3 | Y | Y | LQFP 100 | LQFP 100TFBGA 100 |
| AT91SAM7XC128 | Production | 128K | 32K | 128 | -- | 1 | -- | -- | -- | 1 | -/1 | 8 | -- | 11 | 55 | 62 | -- | -- | 1 | 2 | -/1 | 2 | 1 | 1 | -- | FS | 4 | 4 | 3 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 37257 | 7TDMI | -- | -- | 3.3 | Y | Y | LQFP 100 | LQFP 100TFBGA 100 |
| AT91SAM7XC256 | Production | 256K | 64K | 128 | -- | 1 | -- | -- | -- | 1 | -/1 | 8 | -- | 11 | 55 | 62 | -- | -- | 1 | 2 | -/1 | 2 | 1 | 1 | -- | FS | 4 | 4 | 3 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 37257 | 7TDMI | -- | -- | 3.3 | Y | Y | LQFP 100 | LQFP 100TFBGA 100 |
| AT91SAM7XC512 | Sampling | 512K | 128K | 256 | -- | 1 | -- | -- | -- | 1 | -/1 | 8 | -- | 11 | 55 | 62 | -- | -- | 1 | 2 | -/1 | 2 | 1 | 1 | -- | FS | 4 | 4 | 3 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 37257 | 7TDMI | -- | -- | 3.3 | Y | Y | LQFP 100 | LQFP 100TFBGA 100 |
| AT91SAM9260 | Production | -- | 2x4K | -- | -- | 1 | 1 | 2xFS | 1 | -- | -/1 | 4 | -- | 24 | 210 | 96 | 1 | 37257 | -- | 4 | 37288 | 2 | 1 | 1 | 1 | FS | -- | 3 | 6 | 1 | 1 | 2 | -- | 1 | 37289 | 926EJ-S | 2x8K | MMU | 1.8/3.3 | Y | N | PQFP 208 | PQFP 208LFBGA 217 |
| AT91SAM9261 | Production | -- | 160K | -- | 1 | -- | -- | 2xFS | 1 | -- | -/1 | -- | -- | 19 | 240 | 96 | 1 | 1/- | -- | 3 | -/1 | 2 | 1 | 3 | 1 | FS | -- | -- | 3 | 1 | 1 | 2 | -- | -- | 37289 | 926EJ-S | 2x16K | MMU | 1.8/3.3 | Y | N | LFBGA 217 | LFBGA 217 |
| AT91SAM9261S | Production | -- | 16K | -- | 1 | -- | -- | 2xFS | 1 | -- | -/1 | -- | -- | 19 | 240 | 96 | 1 | 1/- | -- | 3 | -/1 | 2 | 1 | 3 | 1 | FS | -- | -- | 3 | 1 | 1 | 2 | -- | -- | 37289 | 926EJ-S | 2x16K | MMU | 1.8/3.3 | Y | N | LFBGA 217 | LFBGA 217 |
| AT91SAM9263 | Production | -- | 96K | -- | 1 | 1 | 1 | 2xFS | 2 | 1 | -/2 | -- | -- | 22 | 240 | 160 | 2 | 37257 | -- | 3 | -/1 | 2 | 1 | 2 | 2 | FS | 4 | -- | 3 | 1 | 1 | 2 | -- | -- | 37289 | 926EJ-S | 2x16K | MMU | 1.8/3.3 | Y | N | TFBGA 324 | TFBGA 324 |
| AT91SAM9G20 | Development | -- | 2x16K | -- | -- | 1 | 1 | 2xFS | 1 | -- | -/1 | 4 | -- | 24 | 400 | 96 | 1 | 37257 | -- | 4 | 37288 | 2 | 1 | 1 | 1 | FS | -- | 3 | 6 | 1 | 1 | 2 | -- | 1 | 37289 | 926EJ-S | 2x32K | MMU | 1.8/3.3 | Y | N | LFBGA 217 | LFBGA 217 |
| AT91SAM9R64 | Development | -- | 64K | -- | -- | -- | -- | -- | 1 | -- | 37257 | 3 | -- | 18 | 240 | 49 | 1 | 37257 | -- | 4 | -/1 | 1 | 1 | 1 | 1 | HS | 3 | -- | 3 | 1 | -- | 2 | -- | 1 | 37289 | 926EJ-S | 2x4K | 1/- | 3.3 | Y | N | LFBGA 144 | LFBGA 144 |
| AT91SAM9RL64 | Development | -- | 64K | -- | 1 | -- | -- | -- | 1 | -- | 37257 | 6 | -- | 22 | 240 | 118 | 1 | 37257 | -- | 4 | -/1 | 1 | 2 | 2 | 1 | HS | 4 | -- | 3 | 1 | 1 | 2 | -- | 1 | 37289 | 926EJ-S | 2x4K | 1/- | 3.3 | Y | N | LFBGA 217 | LFBGA 217 |
| AT91SAM9XE128 | Development | 128K | 16K | -- | -- | 1 | 1 | 2xFS | 1 | -- | -/1 | 4 | -- | 24 | 210 | 96 | 1 | 37257 | -- | 4 | 37257 | 2 | 2 | 1 | 1 | FS | -- | 3 | 6 | 1 | 1 | 2 | 1 | 1 | 37289 | 926E J-S | 16K+8K | 1/- | 1.8/3.3 | Y | N | PQFP 208 | PQFP 208LFBGA 217 |
| AT91SAM9XE256 | Development | 256K | 32K | -- | -- | 1 | 1 | 2xFS | 1 | -- | -/1 | 4 | -- | 24 | 210 | 96 | 1 | 37257 | -- | 4 | 37257 | 2 | 2 | 1 | 1 | FS | -- | 3 | 6 | 1 | 1 | 2 | 1 | 1 | 37289 | 926E J-S | 16K+8K | 1/- | 1.8/3.3 | Y | N | PQFP 208 | PQFP 208LFBGA 217 |
| AT91SAM9XE512 | Development | 512K | 32K | -- | -- | 1 | 1 | 2xFS | 1 | -- | -/1 | 4 | -- | 24 | 210 | 96 | 1 | 37257 | -- | 4 | 37257 | 2 | 2 | 1 | 1 | FS | -- | 3 | 6 | 1 | 1 | 2 | 1 | 1 | 37289 | 926EJ-S | 16K+8K | 1/- | 1.8/3.3 | Y | N | PQFP 208 | PQFP 208LFBGA 217 |